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金融界2024年12月20日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种温度控制方法、装置、电子设备及存储介质”的专利，公开号CN 119144934 A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种温度控制方法、电子设备及半导体工艺设备，属于半导体技术领域。所述方法包括：获取当前温度设定值；根据所述当前温度设定值对各个所述温度控制区进行控温，对达到所述当前温度设定值的所述温度控制区进行保温，直至全部所述温度控制区的温度与所述当前温度设定值之间的温差在预定范围内；重复获取下一温度设定值，根据所述下一温度设定值对各个所述温度控制区进行控温，对达到所述下一温度设定值的所述温度控制区进行保温，直至全部所述温度控制区的温度与所述下一温度设定值之间的温差在预定范围内的步骤，直至所述晶圆承载面达到目标温度。
本文源自：金融界
作者：情报员
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