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金融界2024年11月9日消息，国家知识产权局信息显示，包头美科硅能源有限公司申请一项名为“一种磷锑共掺掺杂工艺方法”的专利，公开号 CN 118910724 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明涉及单晶硅制造技术领域，具体涉及一种磷锑共掺掺杂工艺方法。包括加料掺杂和装置补掺；所述加料掺杂为炉台正常加料时加掺；所述装置补掺为炉台不加料时补掺；所述加料掺杂为先根据头部目标电阻计算锑金属和磷金属掺杂量，再进行加掺；所述装置补掺为先根据补掺公式计算锑合金补掺量再使用掺杂装置补掺本发明通过磷锑掺杂金属共同补偿，前期锑金属主导影响电阻率，后期锑金属挥发，磷金属电阻补偿实现电阻率一致性，最终电阻率可实现头尾电阻率差异在0.1 Ω 之间，提升硅片效率。
本文源自：金融界
作者：情报员
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