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金融界2024年10月31日消息，国家知识产权局信息显示，苏州矩阵光电有限公司申请一项名为“热控分区腐蚀晶圆的装置及方法”的专利，公开号CN 118841350 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明提供一种热控分区腐蚀晶圆的装置及方法，装置包括隔离网筒和温控腐蚀系统；隔离网筒包括筒壁和隔离网壁，隔离网筒用于套设于晶圆外围，隔离网壁用于将晶圆表面分隔成多个相互独立的腐蚀区域，并与晶圆表面具有间距以形成非接触气隙，基于液体表面张力使得腐蚀液不会进入到与该腐蚀区域相邻的另一个腐蚀区域；温控腐蚀系统包括温度控制器、加热驱动器、加热单元与腐蚀液管路。本发明的热控分区腐蚀晶圆的装置设备结构简单，且易于操作，用于晶圆表面处理具有高效，低成本的优势。
本文源自：金融界
作者：情报员
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