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金融界2024年10月29日消息，国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“一种高精度紫外短波段的终点检测装置及方法”的专利，公开号 CN 118824886 A ，申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示，本发明提供了一种高精度紫外短波段的终点检测装置及方法，用于对机台腔室内刻蚀和薄膜过程所产生的光信号进行检测，包括信号收集模块和处理模块所述信号收集模块和处理模块通过信号线连接；所述信号收集模块包括探头和光纤，设于所述机台腔室一侧用于获取机台腔室内刻蚀过程中发出的光信号，并将所述光信号传输至处理模块；所述处理模块包括光学模组和CMOS探测器，用于处理光信号并通过上位机输出光强曲线。本发明的有益效果在于：初步筛选特定紫外短波段光经过自设计光路进行光信号准确提取与处理，并通过终点检测方法实现了终点检测准确度的提升，本发明具有全开口率适应性并适用于多种紫外短波段的刻蚀和薄膜工艺应用。
本文源自：金融界
作者：情报员
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