北京
分享至
金融界 2024 年 9 月 18 日消息，天眼查知识产权信息显示，吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司申请一项名为“一种供液装置“，公开号 CN202410737658.4，申请日期为 2024 年 6 月。
专利摘要显示，本发明涉及一种供液装置。该供液装置包括：储液组件，包括用于储存药液的药液桶；气动泵，气动泵的进液口通过第一管路与药液桶连通；及气液分离罐，气液分离罐的进液口通过第二管路与气动泵的出液口连通，气液分离罐的出液口连接有供液管路。如此，在气动泵的泵送作用下，药液桶内的药液通过第一管路、气动泵和第二管路进入到气液分离罐内进行气液分离，以排除药液内的气泡。经过气液分离之后的药液通过供液管路添加至工艺槽，从而确保添加至工艺槽内的药液不存在气泡，一方面避免对流量计的检测精度造成不良影响，以确保工艺槽内的药液配比满足工艺要求；另一方面确保工艺槽内不会产生泡沫，有利于提高对晶圆表面进行蚀刻的均匀性。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
