北京
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金融界 2024 年 9 月 15 日消息，天眼查知识产权信息显示，联合微电子中心有限责任公司取得一项名为“硅光调制器及其形成方法“，授权公告号 CN113960818B，申请日期为 2020 年 12 月。
专利摘要显示，一种硅光调制器及其形成方法，所述方法包括：提供半导体衬底；在所述半导体衬底的表面进行刻蚀以得到脊型结构，所述脊型结构具有相邻的 P 型掺杂区域以及 N 型掺杂区域；其中，沿所述脊型结构的轴向方向，单位长度内所述 P 型掺杂区域以及 N 型掺杂区域之间的交界面积逐渐增大。本发明可以在沿脊型结构的轴向方向上，保持 PN 结性能参数的稳定，从而保证调制器沿轴向有均匀的特征阻抗和群折射率，进而提高调制器的调制效率、器件带宽及整体性能。
本文源自：金融界
作者：情报员
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