金融界 2024 年 9 月 10 日消息,天眼查知识产权信息显示,山东浪潮华光光电子股份有限公司取得一项名为“一种晶圆切割刀片缺陷检测装置“,授权公告号 CN21677677U,申请日期为 2024 年 1 月。
专利摘要显示,本实用新型涉及切割刀片缺陷检测技术领域,具体公开一种晶圆切割刀片缺陷检测装置。所述检测装置包括:对称设置在竖向的待测切割刀片两侧的第一安装架、第二安装架。每个所述安装架的面向切割刀片的面上均固定有轴向光源、左侧光源、右侧光源和感光区域。其中:所述轴向光源设置在安装架的中部,所述左侧光源、右侧光源分别对称设置在轴向光源的左侧和右侧。所述轴向光源和左侧光源之间、轴向光源和右侧光源之间均设置有所述感光区域,且所述轴向光源、左侧光源、右侧光源的波长各不相同。本实用新型的上述检测装置能够在切割工序中实时监测切割刀片的破损情况,及时发现存在破损的刀片,以进行更换,保证优品率。
本文源自:金融界
作者:情报员
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