网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

北理工李艳秋教授团队《先进计算光刻》出版

0
分享至

先进计算光刻技术是集成电制造装备和工艺的核心技术。

集成电路制造装备和工艺作为国家重大战略,再次纳入国家2035 规划。实现“中国芯”,必先攻克先进光刻技术。光刻技术是利用光刻设备,将掩模母版图形“高精度地复制”到光刻胶中的核心技术。为了延续摩尔定律,光刻分辨率增强技术不断突破光学成像系统的分辨极限。


▲ 光刻成像模型发展图

传统光刻分辨率增强技术包括离轴照明、基于规则的邻近效应修正、相移掩模等。传统的计算光刻包括基于模型邻近效应修正、光源-掩模优化等,发挥了重要作用。传统的计算光刻理论模型是在假设光刻系统(包括光刻机、掩模、光刻工艺)不存在误差(零误差系统)的理想情况下,利用“标量”成像理论,以特定节点对应的光刻性能指标为目标,建立逆向光刻成像模型和优化算法,获得满足光刻成像性能要求的掩模、光源的结构及光强分布,优化并调控成像光波的传播方向、振幅、相位,实现跨越瑞利衍射分辨极限的高分辨成像。

传统计算光刻采纳了零误差、局域坐标系、理想远心、单个光刻成像视场点的标量成像模型及算法。实际光刻系统受照明系统误差(光源结构、强度分布、偏振态)、掩模误差、物镜波像差、偏振像差、非远心成像等因素的影响,导致光刻区域内的各个视场点成像性能各异。传统计算光刻优化获得的掩模和光源偏离实际系统(含误差)需求的真值,导致工艺迭代优化的时间较长。


▲ 全芯片中选取4 个clip 示意图

所谓全芯片应用指从全芯片中选取一部分对光刻成像性能影响较为关键的clip,在优化光源图形的同时保证每个clip的成像保真度。

28~7nm 技术节点光刻成像误差容限更小,因此先进计算光刻必须建立“矢量”光刻成像理论、非零误差、多目标、全视场成像理论,以及先进、快速的算法。先进计算光刻可获得更加匹配实际光刻系统所需的光源和掩模结构,减少工艺迭代周期,最终实现高分辨、大焦深、高保真的光刻成像






← 左右滑动查看详细信息

《先进计算光刻》(李艳秋等著.北京:科学出版社,2024.4)一书在介绍光刻设备和光刻工艺的基础上,概述传统的分辨率增强技术和计算光刻的历史现状,重点介绍先进计算光刻特色内容:

  • 采纳全光路严格的矢量光刻成像理论和模型,详细分析对比矢量成像模型与全光路矢量成像模型的成像精度;

  • 零误差矢量计算光刻理论模型和先进算法,对比分析标量计算光刻和矢量计算光刻优化光源-掩模的异同和特征;

  • 含光刻系统误差(如波像差和偏振像差)的计算光刻;

  • 补偿多种误差影响的高稳定-低误差敏感度计算光刻;

  • 含其他误差(如掩模厚度及侧壁角误差、工件台震动误差、工艺参数误差等)的计算光刻;

  • 光刻设备-掩模-工艺多参数协同优化计算光刻。

同时,介绍多种非线性压缩感知、贝叶斯压缩感知的快速计算光刻技术,有效提高计算光刻效率。


▲ 针对线条图形的SMO 技术和SMPWO (光源-掩模-光瞳优化)技术的仿真结果对比图

希望本书能为从事光刻机研制、光刻工艺研发、集成电路设计与制造、掩模设计与制造、电子信息、光学及精密仪器研制领域的研究人员、工程师、教师和学生提供先进光刻成像与计算光刻方法和技术,促进相关领域的发展。

本文摘编自《先进计算光刻》(李艳秋等著.北京:科学出版社,2024.4)一书“前言”,标题为编者所加。

ISBN 978-7-03-078124-6

责任编辑:张艳芬 魏英杰

本书主要介绍作者在20 余年从事光刻机研发中,建立的先进计算光刻技术,包括矢量计算光刻、快速-全芯片计算光刻、高稳定-高保真计算光刻、光源-掩模-工艺多参数协同计算光刻等,能够实现快速-高精度-全曝光视场-低误差敏感度的高性能计算光刻。矢量计算光刻包括零误差、全光路严格的矢量光刻成像模型及OPC 和SMO 技术。快速-全芯片计算光刻包括压缩感知、贝叶斯压缩感知、全芯片压缩感知计算光刻技术。高稳定-高保真计算光刻包括低误差敏感度的SMO 技术、全视场多目标SMO 技术、多目标标量和矢量光瞳优化技术。光源-掩模-工艺多参数协同计算光刻包括含偏振像差、工件台振动误差、杂散光误差的光刻设备-掩模-工艺多参数协同优化技术。解决传统计算光刻在零误差假设、局域坐标系、理想远心、单个视场点获得的掩模-光源,无法最佳匹配实际光刻系统之所需,导致增加工艺迭代时间的问题。

本书可供从事光学成像、计算成像、计算光刻、芯片制造工艺、光刻机曝光系统设计-加工-检测-集成协同研制、空间光学、高性能光学仪器等领域的师生、科研人员、工程师、软件开发人员学习。

(本文编辑:刘四旦)


一起阅读科学!

科学出版社│微信ID:sciencepress-cspm

专业品质 学术价值

原创好读 科学品位

科学出版社视频号

硬核有料 视听科学

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
CCTV5直播国足vs泰国:晋级生死战 武磊停赛 张玉宁伤缺 谁来冲锋

CCTV5直播国足vs泰国:晋级生死战 武磊停赛 张玉宁伤缺 谁来冲锋

智道足球
2024-05-19 10:52:26
赖清德上台倒计时,中方高层接到美电话,22字已出,台海风雨欲来

赖清德上台倒计时,中方高层接到美电话,22字已出,台海风雨欲来

说天说地说实事
2024-05-18 14:04:19
你听杨鸣还是听哈姆的莫兰德晒哈姆战术板:上强度!别犯规!

你听杨鸣还是听哈姆的莫兰德晒哈姆战术板:上强度!别犯规!

直播吧
2024-05-20 08:35:19
泼天的富贵轮到哈工大!普京上任首访选择哈工大,原因不言而喻

泼天的富贵轮到哈工大!普京上任首访选择哈工大,原因不言而喻

阿蒙聊教育
2024-05-17 22:20:43
三大球全军覆没!四支队伍宣告无缘奥运,体育总局宏伟目标成口号

三大球全军覆没!四支队伍宣告无缘奥运,体育总局宏伟目标成口号

小豆豆赛事
2024-04-24 01:22:08
一场仓皇败北的中外对话,北大难受吗?

一场仓皇败北的中外对话,北大难受吗?

小陆搞笑日常
2024-05-13 07:15:09
【网友剪辑】第95分钟曼城1-1仍西汉姆,赖斯绝杀阿森纳2-1埃弗顿

【网友剪辑】第95分钟曼城1-1仍西汉姆,赖斯绝杀阿森纳2-1埃弗顿

直播吧
2024-05-19 18:45:37
绝密!俄罗斯安全部门大动作,中将半夜被捕惊动全城

绝密!俄罗斯安全部门大动作,中将半夜被捕惊动全城

三界见闻
2024-05-15 11:24:12
再见哈登!乔治率先跑路,伦纳德含泪忏悔,是我坑了兄弟们和快船

再见哈登!乔治率先跑路,伦纳德含泪忏悔,是我坑了兄弟们和快船

林子说事
2024-05-19 15:19:35
上海的王炸在路上了

上海的王炸在路上了

说故事的阿袭
2024-05-19 19:31:32
孙子长相有问题,我怀疑儿媳不忠,亲子鉴定结果出来我愣住了

孙子长相有问题,我怀疑儿媳不忠,亲子鉴定结果出来我愣住了

小月文史
2024-05-16 16:56:58
落马官员多次索要现金、鸡鸭鱼肉等农副产品,当地有干部不堪其扰辞职

落马官员多次索要现金、鸡鸭鱼肉等农副产品,当地有干部不堪其扰辞职

政知新媒体
2024-05-19 19:58:10
最强女海王!河南已婚女子同时交13名男友,颜值照曝光,网友:确实长得美……

最强女海王!河南已婚女子同时交13名男友,颜值照曝光,网友:确实长得美……

鱼乐星鲜事
2024-04-08 20:38:06
伦纳德宣布重要决定,哈登彻底怒了,乔治:浪费了我5年的巅峰期

伦纳德宣布重要决定,哈登彻底怒了,乔治:浪费了我5年的巅峰期

宝哥精彩赛事
2024-05-19 13:21:04
百度初创时期有七位创始人,如今只剩李彦宏,其他六个人去哪了?

百度初创时期有七位创始人,如今只剩李彦宏,其他六个人去哪了?

元气科技馆
2024-05-19 20:50:27
0-3惨败!日本被打回原形,积分落后22分,中国女排进奥运会稳了

0-3惨败!日本被打回原形,积分落后22分,中国女排进奥运会稳了

侃球熊弟
2024-05-19 23:47:15
梅开二度表现亮眼!西媒:皇马改主意了,今夏不会外租居勒尔

梅开二度表现亮眼!西媒:皇马改主意了,今夏不会外租居勒尔

直播吧
2024-05-20 05:14:12
不败夺冠!42岁阿隆索缔造5大神迹,穆里尼奥神了:5年前预言成真

不败夺冠!42岁阿隆索缔造5大神迹,穆里尼奥神了:5年前预言成真

侃球熊弟
2024-05-18 23:16:29
2023,设计杀害女友的军二代被注射死刑,细节露出:临终浑身颤抖

2023,设计杀害女友的军二代被注射死刑,细节露出:临终浑身颤抖

古书记史
2024-05-18 19:25:03
1-2!U17女足惜败韩国队,亚洲杯获第4名,无缘女足世少赛

1-2!U17女足惜败韩国队,亚洲杯获第4名,无缘女足世少赛

ALL体育
2024-05-19 17:01:26
2024-05-20 10:06:44
科学出版社
科学出版社
科学出版社官方号
4601文章数 27807关注度
往期回顾 全部

科技要闻

中美AI的五月剧变

头条要闻

乌军王牌飞行员阵亡 俄记者:其战机被俄空天军击落

头条要闻

乌军王牌飞行员阵亡 俄记者:其战机被俄空天军击落

体育要闻

8年半,讲不出再见

娱乐要闻

《庆余年2》首播口碑出炉!有好有坏

财经要闻

韵达快递管理以罚代管 新政执行落地难

汽车要闻

智驾升级/月底上市 问界新M7 MAX焕新版

态度原创

本地
时尚
教育
公开课
军事航空

本地新闻

博物馆的正确打开方式|来河南,沉浸式体验中原文明

衣服在精不在多,推荐夏季搭配好这三款单品,简约时尚又显气质

教育要闻

生育率狂跌,日本高校「争抢」中国留学生

公开课

父亲年龄越大孩子越不聪明?

军事要闻

80万人逃离拉法 以战时内阁现分歧

无障碍浏览 进入关怀版