天津
发展新质生产力是推动高质量发展的内在要求和重要着力点。企业是产业创新的主力军，也是发展新质生产力的重要主体。2024年以来，位于津南区咸水沽镇的帝京真空技术（天津）有限公司瞄准新质生产力这一核心目标，以科技创新推动产业创新，加快发展新质生产力，打通创新发展过程中的堵点卡点，为企业发展注入新动能。
帝京真空技术（天津）有限公司成立于2022年，系帝京半导体科技（苏州）有限公司的全资子公司，是以半导体设备真空部件的表面处理技术为核心，集合材料工程、精密加工、精密检测、洁净包装等技术打造一站式快速响应客户需求的服务平台。业务范围涵盖半导体、新能源汽车、军工等行业，是国内少有的掌握半导体设备UHV级真空零部件超洁净清洗和防静电硬质氧化技术、真空腔体精密焊接技术、特殊涂层热熔覆工艺技术以及关键零部件国产替代设计制造技术的制造商。
作为津南区海河集成电路设备产业园的一分子，帝京真空技术（天津）有限公司主要生产半导体设备关键零件、半导体设备真空腔及其组件、半导体阀等。半导体匀气盘是近两年该公司的拳头产品，该产品为半导体气路系统的核心零部件，也是加工难度很高的半导体金属零部件，应用于产业园下游企业半导体电路中的晶圆加工。
一直以来，半导体匀气盘市场大部分由国外巨头企业占据，为了打破技术壁垒，帝京真空技术（天津）有限公司不断加大自主研发力度，在原有加工6寸和8寸匀气盘的基础上开始向更高精度产品进阶。2024年以来，研发部门的技术人员们为了新项目马不停蹄地紧张忙碌着，对加工12寸晶圆的匀气盘进行技术攻关。
帝京真空技术（天津）有限公司总经理任苗苗介绍说：“加工6寸或8寸晶圆的匀气盘是比较普及的，我们目前已经掌握这项技术，并且也将产品推向了市场，但加工12寸晶圆的匀气盘在国内是比较少见的，这个项目主要的技术难点是表面涂层处理，我们邀请了专家团队加入，跟高校联合，再加上我们企业有表面涂层处理的优势和经验，目前正在全力投入研发，这项技术一旦验证成功，在国内我们将是首家完成加工12寸晶圆匀气盘表面涂层处理的企业。”
新质生产力的发展是以全要素生产率提升为核心标志，除了核心技术的创新突破，帝京真空技术（天津）有限公司还在对产业设备进行迭代升级，走进生产车间，3台进口数控设备已经进场调试，一体化高端智能化自动生产线也将于4月底前投入使用，届时，工作效率能够提升三成，产品质量也更加稳定，将进一步增强发展动能，满足市场需求。
未来，帝京真空技术（天津）有限公司将充分利用津南区科教优势资源以及产教融合相关政策，与高校开展产学研合作，厚植技术技能人才成长土壤。同时凭借自身形成的帝京管理体系DPS，全面导入数字化运营系统，力争成为天津高新技术和专精特新企业标杆以及半导体设备科技创新人才培养基地。
“帝京将通过打造北方‘半导体设备真空零部件研发及制造基地’作为公司在天津的发展定位，通过服务天津、北京、沈阳等三个半导体产业集群城市的主要客户，补足华北半导体设备产业链短板，快速响应设备厂和晶圆厂客户需求，积极有为，善作善成，助力天津打造成为全国先进制造研发基地。牢牢把握发展新质生产力的方向，进一步加大在核心技术的研发投入，以新质生产力来加快推动企业实现‘一年上规，三年上亿’的发展节奏，为推动天津的区域经济高质量发展作出企业贡献。”任苗苗对未来充满期望。
来源：津南好客户端
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