金融界2024年3月22日消息,据国家知识产权局公告,长鑫存储技术有限公司申请一项名为“石英管清洗装置、雾化喷淋头及其雾化方法“,公开号CN117732628A,申请日期为2022年9月。
专利摘要显示,本公开涉及一种石英管清洗装置、雾化喷淋头及其雾化方法,雾化喷淋头包括:本体、第一开关组件以及第二开关组件。本体设有混合腔室、进液口、进气口与雾化排气孔,进液口、进气口与雾化排气孔分别和混合腔室相连通。第一开关组件设置于本体上,用于控制进液口打开或关闭。第二开关组件设置于本体上,用于控制雾化排气孔打开或关闭。当混合腔室内部的气压达到一定程度后,第二开关组件打开,混合腔室内部的气体与清洗液的混合物经过雾化排气孔向外排出,并在经过雾化排气孔的过程中形成雾化气体,向外排出的雾化气体对石英管的清洗效果较好,清洗效率较高,同时能节省清洗液,且雾化喷淋头的产品结构较为简单,成本低廉。
本文源自金融界
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