荷兰ASML掌握全球顶级的光刻机制造技术,是唯一能量产EUV光刻机的厂商,制程低一些的DUV光刻机也是ASML占据市场主导地位。
可即便荷兰光刻机产业实力再强,也成为了美国的“打手”,荷兰已正式宣布,禁售DUV光刻机。中国传来消息,正式回应称:若别无选择,将自主制造。
EUV光刻机使用了大量美国技术,所以当美国有意限制EUV光刻机出货的时候,荷兰ASML公司无法拒绝。
不过对于DUV光刻机,美国技术占比并不高,且ASML自研深耕了几十年,美国已无法从技术的角度对DUV光刻机展开限制。
于是荷兰成为了美国拉拢的对象,要求荷兰加入限制阵营。起初荷兰的态度是拒绝的,表示不会照搬美国对华的政策。本以为荷兰的态度能坚持到底,没想到今年1月底ASML传来荷兰、美国、日本达成协议的消息,荷兰最终还是妥协了。
在3月8日,荷兰宣布对最先进的DUV光刻机实施出口管制。根据ASML的解读,“最先进的”DUV光刻机涉及NXT:2000i及以上型号的设备。先进制程较低的DUV浸润式光刻机是能够继续出货的。
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