光刻机巨头最早是美企GCA,后来变成了日企尼康和佳能,然后才是荷兰ASML。正是和台积电共同突破了浸没式DUV光刻机,才奠定了ASML在光刻机领域的地位。后来,ASML又推出了更高端的EUV光刻机,且是独家垄断生产,更加稳固了光刻机行业巨头地位。然后,随着技术的不断向前发展,EUV光刻机的路越走越窄了!
EUV技术即将走到尽头ASML能够成为全球唯一一家生产EUV光刻机的厂商,这背后当然少不了美方的私下操作。EUV光刻机技术非常先进,由英特尔牵头成立组织花6年时间才研发出来。当时,美方光刻机企业早已没落,有能力参与EUV光刻技术研发的光刻机企业只有尼康和ASML两家,他们也都积极申请加入这个组织,但最后只允许ASML加入了。因为美方不希望日企崛起,之前日本半导体崛起,存储芯片上就把英特尔压了下去。所以ASML独享了美方的EUV技术成果,但ASML也因此和美方签订了技术保护性条款,以后55%的光刻机配件必须从美购买,这也是为什么美方能够阻挠EUV出货。
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