11月29日,上海鼎泰匠芯科技迎来首台ASML光刻机,交付仪式已经在上海临港新片区举行,这是在美国采取措施之后,ASML首次向中国企业供应光刻机,凸显出ASML开始硬扛美国。
ASML反水,在于此前它完全顺从美国,然而美国芯片企业却在绕开它的EUV光刻机。先是美国芯片企业美光已研发绕开EUV光刻机的1β工艺,这项工艺比采用EUV光刻机降低了六成的成本,存储密度、功耗等指标也更优秀。
再是美国光刻机企业Zyvex公司研发电子束光刻机,绕开了ASML的EUV光刻机,并且将先进工艺提升到0.768纳米,这意味着美国芯片企业未来可能不再采购ASML的EUV光刻机,这更是要了ASML的命根,毕竟光刻机业务就是ASML的根本。
面对美国芯片的做法,ASML当然不会坐视,ASML和它所在的荷兰都表示ASML是一家欧洲企业,理应有自由出货的权力,不应完全遵从美国的要求,近期更传出荷兰已在与美国谈判,希望让ASML获得自由出货的权利,毕竟ASML已是荷兰有限的几家具有国际竞争力的企业,对荷兰经济具有重要影响。
更让ASML忧心的是全球芯片行业的变化,全球芯片行业已从过去两年的火热迅速陷入冰点,最大的EUV光刻机采购客户台积电已关闭部分EUV光刻机,甚至还将部分EUV光刻机从中国台湾转运至美国的5nm工厂。
三星的3nm工厂已经量产,Intel的Intel 4工厂也已完成设备进驻,台积电、三星和Intel这三大客户都已没大规模采购EUV光刻机的可能性,如今美国芯片企业又显示出抛弃ASML的EUV光刻机的迹象,让ASML开始担忧未来的出路。
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