年产 140 吨高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目可行性研究报告

1、项目基本情况

项目名称：年产 140 吨高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目。

实施主体：全椒南大光电材料有限公司。

建设地点：全椒县十字镇十谭产业园新城大道 686-688 号。

建设内容：本项目总投资 10,000 万元，项目计算期共 8 年，其中建设期 1 年，生产期 7 年。本项目通过扩产建设 2 条高纯磷烷产线、1 条高纯砷烷产线， 新增磷烷年产能 70 吨、砷烷年产能 50 吨；利用原有 2 条砷烷产线进行技改， 增加砷烷年产能 20 吨；通过扩产和技改，本项目共计增加磷烷年产能 70 吨、 砷烷年产能 70 吨。

2、项目必要性

（1）电子特气是集成电路领域的重要原材料

电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、 掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和 “源”。电子特种气体是电子气体的一个重要分支，是集成电路、平面显示器 件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。伴随着下游产业技术的快 速迭代，电子特气对纯度和精度的要求持续提高，比如在纯度方面，普通工业 气体要求在 99.99%左右，但是在先进制程的集成电路制造过程中，气体纯度要 求通常在 6N（99.9999%）以上。电子特气对半导体器件性能好坏起到重要作用。

电子特气在半导体制造的材料成本中占比为 13%左右，是半导体制造成本中仅 次于硅片的第二大材料。 砷烷、磷烷广泛应用于集成电路、LED、高效太阳能电池、光通讯器件等 领域，主要用于集成电路制造的掺杂工艺和 LED 的化学气相沉积工艺。作为半 导体领域加工制造过程中的关键材料之一，磷烷和砷烷的质量和纯度可直接影 响电子器件的良率和性能。因此，在半导体行业高速发展、国产自主化需求日 益提升的背景下，磷烷、砷烷的自主产能扩产具备必要性。

（2）高速增长的下游市场需求为磷烷、砷烷带来扩产的紧迫性

集成电路、LED 等电子工业市场的快速发展，带动电子特气市场规模不断增大。集成电路行业在 5G 通讯、汽车电子、大数据、新能源、医疗电子、物 联网、人工智能等为主新兴应用领域强劲需求的带动下呈持续高速发展趋势， 根据 IC Insights 和思瀚产业研究院预测，全球半导体行业市场规模到 2025 年预 计达 2,220 亿美元，相比 2020 年的 1,430 亿美元增长 55%；中国半导体制造总 额 2025 年达 432 亿美元，相比 2020 年的 227 亿美元增长 90%，复合增长率达 14%，高于全球增速。

同时，LED 行业虽整体已步入稳健增长的成熟期，未来在新应用和新技术 领域将会带来新的需求，未来随着小间距 LED（Mini LED 和 Micro LED）兴起， 为上游以磷烷、砷烷为代表的电子特气提供了新的需求空间。

近年来，公司电子特气领域的收入快速增加，下游需求旺盛，而公司磷烷、 砷烷的整体产能有限，产能利用率趋近于饱和状态，亟需突破产能瓶颈，扩大 生产能力。公司本次建设项目建成后，将扩大面向集成电路及 LED 市场的高纯 磷烷、砷烷的量产产能，更好地把握市场机遇。

3、项目可行性

（1）国家政策为电子特气行业提供大力支持

半导体材料是集成电路制造的基石，具有重要的战略意义，其中电子特气 是半导体材料的重要组成部分。为推动电子特气行业向精密、深化方向发展， 国家有关部门出台了多项产业扶持政策。

2021 年全国人大颁布的《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五 年规划和 2035 年远景目标纲要》（“十四五纲要”）强调“发展壮大战略性新兴 产业”，提出聚集以新材料等为代表的战略性新兴产业，加快关键核心技术创新应用，增强要素保障能力，培育壮大产业发展新动能。

2021 年国家工信部颁布的《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021 年 版）》，将集成电路用特种气体等列为重点新材料。 2020 年 8 月，国务院印发《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发 展的若干政策》，给予集成电路设计、装备、材料、封装、测试企业和软件企业 更有力度的税收优惠政策，进一步优化集成电路产业的发展环境。 积极的国家政策为电子特气生产行业提供了良好的政策支持环境。

（2）公司是国内少数具备磷烷、砷烷自主生产能力的企业

磷烷、砷烷是高纯特种气体中技术门槛和开发难度极高的两个品种，曾长 期处于海外技术封锁中。同时因其易燃、剧毒、易爆等特征，从生产角度来说 合成到提纯各个环节难度都较大。 公司是国产磷烷、砷烷制造的领军企业，是国内为数不多能够自主研发和 量产高纯磷烷、砷烷的企业之一。

公司自 2013 年承担国家“02 专项”高纯特 种电子气体研发与产业化项目，于 2016 年形成高纯电子特气砷烷、磷烷产业化能力，产品纯度达到 6N 级别，成功解决了这类特种电子气体的研发和产业化 难题，一举打破了国外技术封锁和垄断，为我国极大规模集成电路制造、民族 工业振兴提供了核心电子原材料。 因此，南大光电具备自主的磷烷、砷烷研发和生产能力，此次扩建产能系 在现有产线的基础上扩建和改造，项目实施具备可行性。

（3）南大光电氢类电子特气产品已获国内外主流客户认可

南大光电氢类电子特气产品自 2016 年起开始推向市场并率先被 LED 客户 广泛接受，有效打破国外垄断。经过多年耕耘，公司氢类电子特气产品在 LED 行业市场份额持续增长，贡献了较好的销售业绩；同时氢类安全源电子特气产 品在集成电路行业快速实现了产品进口替代，得到了广大客户的高度认可。目 前公司产品已覆盖中芯国际、长江存储、华虹半导体、三安光电、乾照光电等 集成电路和 LED 领域的一线厂商，并进入英特尔、欧司朗、飞利浦等国外一流 供应商名录。随着合作关系的深入，公司一方面可以通过不断满足客户的个性 化需求，强化客户粘性；另一方面，公司又能对客户需求进行深入挖掘，实现 更多的产品导入，拓展业务机会。较高的市场认可度进一步提升公司电子特气 业务增长空间。

4、项目经济效益分析

经测算，本项目静态投资回收期为 3.65 年，所得税税后项目财务内部收益 率 32.46%，项目具有较好的经济效益。

5、项目相关备案及审批情况

2021 年 11 月 18 日，全椒县经济和信息化局出具《全椒县经信局项目备案 表》，对本项目进行备案，项目代码：2111-341124-07-02-230977。 截至本可行性报告公告日，该项目的环评手续尚在办理中。

此报告为正式报告摘取部分。需编制政府立项、银行贷款、投资决策等用途可行性研究报告咨询思瀚产业研究院。

来源： 思瀚产业研究院 南大光电