【专访】ASML中国区总裁沈波：全球光刻机巨头如何参与中国产业链？

记者｜彭新

拜访阿斯麦（ASML）中国上海办公室时，正逢这家公司筹备首个“中国日”，蓝色主题色调下，食物饮料和水果整齐摆放在大厅中，氛围颇令人放松。

只有角落处摆放着的一台大型白色“方盒子”提醒着这家公司所做的事情，一台等比例缩小、小型厨房体积大小NXT:1980Di光刻机，在装饰性灯带时隐时现地幽幽照映下，模拟着芯片制造中最重要的环节——光刻。

很长一段时间，国内大众并不熟悉ASML，但“光刻机”这个奇怪又陌生的词，通过一系列事件被放大数倍。而ASML本身不制造芯片，入华30余年，经历半导体行业数轮“景气循环”后，在这个兴起和衰落都颇为迅速的行当里，逐渐走向世界舞台中心。

“光刻机只是一个具象化的成像设备。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波说，"我们的产品是一个铁三角：光刻机、计算光刻、光学和电子束量测，这三块是一起协作的。可能大家看到的只是光刻机这个具象的产品，但其实它们是一个整体的解决方案。”

与此同时，半导体市场主导地位的争夺也日益激烈，2020年末突如其来的缺芯危机，让几乎所有半导体制造巨头都决心增加产能，台积电兴建晶圆厂的速度由2017-2019年每年两座，提升到2020-2022年每年6座，更不用说打出振兴本土半导体制造业旗号的英特尔。而在地缘政治格局变化背景下，半导体公司无不提心吊胆，担心为美国出口管制的不确定性埋单。

ASML如何看待过去的成功、在中国的挑战和未来的趋势？9月初，沈波接受界面新闻记者专访聊了聊这些话题。

不仅是光刻机

ASML并不是唯一的光刻机制造商，它的竞争对手还有日本的佳能和尼康。但自2000年以来，这家荷兰公司市场份额几乎翻了一番，达到60%以上。它还是全球唯一掌握用于7纳米（十亿分之一米）及以下先进工艺的的“极紫外”（EUV）光刻技术的公司。

光刻工艺的关键是提高解析度，而所采用的光的波长越短解析度就越高，蚀刻的元器件尺寸就可以越小，这对于芯片制造商追上“摩尔定律”来说非常重要。“摩尔定律”由英特尔创始人之一戈登·摩尔在1965提出，通常表述为在最小成本的前提下，集成电路上可容纳的元器件数目每隔18-24个月将增加一倍，性能也将提升一倍。

在半导体产业中，光刻是推动芯片向“制造体积更小、性能更强大、运算速度更快、价格更低芯片”这一目标不断发展的重要一环。实际上，光刻的本质其实是一个投影系统，光线被投射通过掩模版，成像在晶圆上，最终在晶圆上一层一层建立起复杂的晶体管。而ASML的工作，就是让成像图案尽可能地小，以及让生产效率尽可能提高。

行业飞速发展，ASML也如此。目前，世界三大芯片制造商一一台积电、英特尔和三星对ASML产品的依赖已经不亚于科技产业的其余部分对它们生产的芯片的依赖。

一直以来，ASML很少谈及它如何参与制造芯片。外界对ASML的关注，更多集中在ASML无法向中国大陆供货EUV光刻机上。实际上ASML在行业内的合作和参与深度，是外界无法想象的。

“建一个晶圆厂，把晶圆厂做起来并通线，不是购买了设备再把它们放在一起就可以的。”沈波说，从ASML的角色而言，他们还要支持客户从晶圆产线的通线启动、通线之后的工艺完善，到最终把芯片生产出来的全过程。

芯片结构复杂、材料成本高，且对产品良率要求高。因此，除了加大投入外，晶圆厂还要与ASML这样的供应商优化产能，尝试控制成本。沈波解释，除了光刻机本身的曝光环节，ASML还做量测和计算光刻，即在晶圆曝光前和曝光的同时不断地建模和修正，进而得到正确的曝光图形。

“整个厂的产能建立起来之后，优化产能、提高全厂效率，这些都是我们为客户提供的支持，这些价值不是仅仅卖一台光刻机能够体现的。”沈波说。

即使在疫情封控期间，ASML仍为国内的芯片制造商提供不间断的服务和支持。ASML的工程师在客户的晶圆厂里支持生产、保障运营，努力降低因疫情封控而造成的产能损失。沈波举例称，在2020年初的武汉，几乎全封城的状态下，在所有晶圆厂设备供应商中，ASML是极少数几家还有工程师驻扎在客户现场协助产线生产的。

这种紧密合作的关系正是半导体产业链上下游通力合作的缩影。“目前来看，中国客户总体上还是在起步阶段。”沈波称，相较于国外更成熟的客户，ASML与中国客户有更多的合作维度。“客户把我们当伙伴，而不是单纯的供应商，我们也确实把客户当成伙伴。”

在中国发展

进入2022年，半导体上游扩产节奏仍未放缓。据悉，ASML今年将在中国招聘200多名员工，以跟上中国的增长步伐，这意味ASML将把中国的员工队伍扩大14%。

这一消息在行业内外引起了广泛关注，但在沈波看来，这被外界放大解读的“200人扩招”并不算新鲜事。

“我们团队一直在扩张，到现在超过1500人了，我记得2017年那时候总人数不到500人，也就是说我们在过去四年多时间里人员增长了三倍。我们一直在增长，因为业务在增长，组织也要去增长。”沈波说。

1988年，ASML向清华大学交付首台步进式光刻机。随后在2000年，ASML中国正式成立。2018年，ASML又成立上海全球培训中心，并进一步于2021年成立北京本地维修中心。

目前ASML在中国有15个办事处、11个仓储物流中心、3个开发中心、1个培训中心以及1个维修中心。根据财报，来自中国大陆的营收占2021年ASML整体的14.7%，达到27亿欧元。

沈波表示，随着ASML在中国业务发展，相应的服务人员也要增长。

对ASML来说，人才是要解决的首要问题。在光刻过程中，光刻机台的移动速度极快，要精确到头发丝的几万分之一的距离，如何编写出能提升产品良率的软件、如何保证精密仪器顺畅又稳定的运行，是ASML需要人才解决的难题。

“我们需要的人才范畴太多了。”沈波称，ASML作为半导体设备厂商，设备是综合体，因此，他们所需要的人才专业背景涉及的范围也很广。“比如学物理、数学、计算机、光学、材料、电子这几大类的人才都需要，包括做计算光刻、计算光学的软件工程师，他们需要很强的软件能力，所以我们需要的人才基本涵盖各个理工科专业的学生。同时，公司还有其他的职能部门，所以各方面的人才我们都需要。”

如何应对不确定性

光刻机是个特殊的市场，一年卖几十台的就算大厂，因为半导体厂商就那么多，这让ASML一直在半导体产业后担任“隐形冠军”角色，很长一段时间不为人所知。

很长一段时间，ASML都会保持在先进制程所需光刻机的独家地位，其市值一度超过空客、西门子或大众等欧洲大型集团。其预期市盈率达到23倍，也远超台积电、三星等半导体巨头。

ASML受益于半导体的周期性增长，尤其是近两年的爆发行情，光刻机出货节节增长。

“盛宴”不会永远持续，芯片业繁荣的背后，萧条的先兆似有到来，越来越明显的迹象显示，智能手机、个人电脑等电子消费品正陷入需求衰退。市场调研公司Gartner称，芯片短缺在一定程度上导致55%的芯片买家重复订货，人为推高了需求。高通胀和加息逼近可能打击经济增长，进而影响芯片需求。

当供应过剩出现时，对各家芯片产业链的影响也许会各不相同。台积电的CEO魏哲家1月表示，公司技术处于领先地位，受市场修正的影响可能“不会那么大”。

对于同样处于行业领导地位的ASML而言，其受到投资者的审视也十分严格。根据ASML在7月发布的第二季度财报，其实现净销售额54.3亿欧元，同比增长35%；净利润为14.1亿欧元，同比增长36%。

良好的增长数字下，投资人也将注意力集中到一个不同寻常的变动——ASML将全年营收增长幅度预期由20%调整至10%，但这其实归因于部分收入的延迟确认。这一变化成为财报会议上，ASML首席执行官Peter Wennink（温彼得）的发言中被投资人密切关注的重点。

收入延迟确认，原因是全球芯片产能紧缺，ASML供应链亦受影响，导致交货周期拉长，因此ASML采取了快速发货策略。该策略下，ASML跳过部分原本应在自家工厂完成的测试步骤，改为在客户的晶圆厂完成最终测试并验收。这可以帮助下游晶圆厂更快地提升产能，但也导致相应部分的收入递延。温彼得解释称，快速发货策略可以使交货周期最多缩短一个月。

"去年下半年我们开始尝试做这件事情，一开始我们也担心这个改变是不是会带来一些不确定性，包括机器的有些问题到现场不如在工厂那么好处理，以及可能一些客户觉得不太愿意冒这个风险，觉得还是在工厂做了测试，再交付会更好。”沈波认为，对于这种交付流程的变化，ASML和客户仍处于摸索阶段，但截至目前尚未发现任何问题。

沈波称，应对短期内市场的井喷式需求，触发了ASML启动了光刻机的快速交货，虽然会对公司的财务上造成影响，但光刻机快速发货对客户端提高产能确实有所帮助。

2022年以来，受全球宏观经济逆风和局部疫情影响，消费电子等市场遇冷，半导体需求产生了一些结构性调整。经历了行业的周期性变化，加之美国出口管制相关政策的进一步收紧，让业内众议纷纭，行业走势几何尚需观察。

但是，越来越难预料的外部因素，给整个行业的未来都增加了很大的变数，这将是这家荷兰公司在中国的一大不确定性。

而回到ASML自身，温彼得在财报会议上告诉投资人，“我认为我们需要认识到，中国是半导体行业的重要参与者，尤其是在更主流的制程上。”正如他此前的公开表态，中国是全球市场极为重要的供应商，中国建立在DUV上的半导体制造能力正是全球所需要的。