我们知道由于受到美国禁令, ASML 最尖端的 EUV 光刻机一直无法向中国出售,这无疑极大的阻止了像中芯国际这样的国内代工厂追赶世界先进制程的脚步。 虽然 EUV 被禁止,但是国内代工厂一直可以买到 ASML 的 DUV 光刻机,这对于7纳米之上的制程还是够用的。
不过,即使是 ASML已经 不能向中国售卖 EUV 光刻机, 美国政客还要变本加厉。 近日据彭博社报道, 美国政府正在推动荷兰, 拟禁止ASML向中国公司出售该国生产的几乎 所有 光 刻 机 ,也就是说 ASML 的主流深紫外 (DUV) 光刻工具也不允许卖与中国。 如果美国政客成功,这将严重打击中国成为世界级半导体生产商的努力。
与EUV被用于台积电、三星、英特尔等少数几个代工巨头生产5nm及以下的制程不同,DUV 被更加广泛的应用,可用于制造绝大多数广泛使用的芯片,这些芯片为客户端 PC、服务器、移动电子产品、自动驾驶汽车和机器人提供动力。
ASML DUV 光刻机 TWINSCAN NXT:2050i
说服荷兰政府禁止向中国客户销售几乎所有光刻扫描仪并非易事。2021年,由华虹、中芯国际 (SMIC) 和 长江存储(YMTC) 等本土公司或台积电、三星和 SK 海力士等全球企业运营的中国晶圆厂约占 ASML收入的达到了186亿美元,约占其销售总额的16%(在新标签中打开),这是一笔很大的收入。
虽然,ASML声称它不是世界上唯一的DUV光刻机制造商(尽管是最大的),类似的机器在佳能和尼康也有。但是如果美国设法禁止了ASML向中国出售,其他公司将无法很快取代它们。此外,美国政界人士认为,现代芯片封装技术的进步使中国公司能够设计和生产相当复杂的芯片,从而推动中国的超级计算,并最终推动军事技术。
但是禁止让来自中国的公司获得有美国关键技术的半导体制造设备,将影响到世界其他地区。例如,DRAM和3D NAND存储器的很大一部分生产都在中国。让三星、SK海力士和YMTC这样的公司没有中国工厂,将影响全球芯片和电子产品供应链。此外,台积电、中芯国际和华虹为其国际客户生产大量芯片,如果他们减少生产,这也将影响到美国的芯片设计公司。
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