什么是MEAS传感器？

大家好，我是【广州工控传感★科技】传感器事业部，张工。

MEAS传感器是由电子、电气和机械元件组成的微观集成设备，它们通过使用称为微系统技术 (MST) 的技术共同工作以满足单一功能要求。MEAS传感器被认为是传统集成电路制造的延伸。 传统 IC 制造技术与 MEAS 的主要区别在于，使用 MEAS 不仅可以制造电容器和电感器等电气元件，还可以制造齿轮、弹簧、梁等机械部件。使用传统IC技术，只可以制造导体， 绝缘体、二极管和晶体管。

MEAS借助先进的IC制造技术将有源和无源元件集成到单个硅基板中。 有源元件是传感器和执行器，而无源元件是无源电子系统和无源机械系统。 由信号处理电路（如放大器、ADC、滤波器等）组成的电子系统是使用IC制造工艺设计的，而由齿轮、曲柄、轴承等组成的机械系统是通过微加工工艺设计的。

传感器是当今数字世界的重要组成部分之一。 由于所有计算和处理都是在数字信号上完成的，因此在模拟世界和数字电子设备之间应该有一个媒介。 传感器弥合了这一差距，因为它们用于观察模拟物理参数的时间效应并生成有意义的信息（发送到计算机）。传感器的现代定义有时可能令人困惑，但简单来说，传感器是一种包含基本传感元件的设备，这些元件可以感知温度或湿度等物理量并将其转换为电信号。 该传感器还包含一个信号处理单元，例如放大器、滤波器或 ADC 或这些元件的组合。

对于 MEAS 传感器，如果传感器是使用 MEAS 技术设计和制造的，则称为微加工微传感器或简称为 MEAS 传感器。例如，一个手势控制机器人包含一个 3 轴加速度计、一个 3 轴陀螺仪和一个数字运动处理器。

不同类型的 MEAS 传感器，MEAS技术的主要实施者之一是汽车行业。 现代汽车使用许多传感器，其中大部分是基于 MEAS 的设备。 以下是现代汽车中使用的 MEAS 传感器列表。

3038-2000加速度计——用于电子稳定控制和安全气囊展开。 惯性测量单元或 IMU（它们是 MEMS 加速度计和 MEMS 陀螺仪的组合）——用于测量自动驾驶的偏航、俯仰和滚动。

MS5805-02BA气压传感器 - 导航定位。

M5256压力传感器——用于自动控制。

M5156压力传感器——胎压监测系统。

LMM-H03气流传感器 - 进气口监控。

燃油传感器 - 燃油液位指示器。

64C-6000-240碰撞和碰撞传感器——碰撞检测和安全气囊展开。

CM-01麦克风——用于通信和噪声消除。

TS318-1B0814温度传感器——用于自动气候控制和发动机温度监测。