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SEMES前员工窃密案细节曝光:14台设备及技术3.7亿元卖给中企

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5月25日消息,据韩国媒体报道,三星前员工因涉嫌将三星电子旗下子公司SEMES开发的半导体清洗设备技术出售给中国企业,从中获取数百亿韩元的非法利益,SEMES前研究员及同伙一共7人已于近日被拘留,并移交法院起诉。

报道称,被起诉的SEMES公司前员工A某曾以研究员身份在公司任职超过10年,2018年3月起至去年12月,他在盗取SEMES公司技术后,制成14台相同配置的半导体清洗设备,与相关技术一同出售给了中国企业及研究机构,从中获取了710亿韩元(约合人民币3.7亿元)的报酬。

A某在从SEMES公司辞职时,未按照要求交还相关信息,并从合作客户代表处盗取设计图纸、零件清单、药业管道信息、操作标准、软件等几乎全部技术。A某团伙盗取的半导体清洗设备是基于SEMES专利技术制成的主力产品,在芯片制程最初阶段用于清除污物。该设备可用来清洗包括硫酸在内的高温液体,并将传送机械臂从2只增至4只,大大提高了清洗速度。据悉,SEMES公司为研究开发这一技术投资了2188亿韩元,技术泄露或导致该公司每年遭受400亿韩元以上的经济损失。

A某及团伙还以曾在SEMES任职的履历为招募投资方,接受中国企业的投资后在天安成立工厂后制造设备。并同中方企业成立合资法人,转移相关技术,以此为交易条件获得20%的股份。在韩国国家情报院产业机密保护中心收到举报启动调查后,涉案团伙曾毁灭保存于硬盘及手机中的相关证据。

据了解,SEMES是三星电子旗下的一家半导体设备供应商(三星拥90%以上的Semes的股份),同时也是韩国最大的半导体设备制造商。

目前,Semes的产品主要包括半导体前道工序领域的清洗(LOTUS、BLUEICE PRIME)、Phototrack(OMEGA-S、OMEGA-K)、蚀刻(Michelan O3、Michelan C4)设备,还有后道工序的Bonder、Probe、Test Handler等设备。

据SEMES官网介绍,其SUPER CRYSTAL系列清洗机是世界第一台超临界设备,采用无倾斜技术(高萃取/高溶解度),具备高通量和稳定性,能够去除19nm的颗粒。


△Semes的晶圆清洗机

数据显示,Semes在2021年全年的收入为3.12万亿韩元(约人民币162亿元),营业利润为3533亿韩元。这是该公司迄今为止最好的年度业绩。与2020年相比,收入和营业利润也分别增长了41%和24%。其中,晶圆厂设备占Semes的2021年收入的75%,而平板显示设备占比1.7%。2020年,晶圆厂设备占其年收入的61.24%,而平板显示设备占比9.9%。

根据Gartner的数据显示,在2019年的全球半导体清洗设备市场,日本迪恩士(DNS)、日本东京电子(TEL)、韩国SEMES和美国泛林集团(Lam research)分别占据了45.10%、25.30%、14.80%和12.50%的市场。

编辑:芯智讯-浪客剑

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