复旦教授张卫深耕集成电路领域28年，荣获全国五一劳动奖章

图说：复旦教授张卫 来源/采访对象供图

　　日前，2022年全国五一劳动奖和全国工人先锋号揭晓。复旦大学微电子学院教授张卫荣获全国五一劳动奖章。他是复旦大学微电子学院院长、校学术委员会副主任、“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项技术副总师、国务院特殊津贴获得者。

　　4月29日，知悉自己获得全国五一劳动奖章时，张卫正在办公室修改学生论文。谈及荣获奖章，他说：“荣誉只代表过去，我得继续努力工作，每天都有很多事情要做。”

　　疫情期，张卫返回校园值守岗位已有一个月。正值毕业季，张卫每天都在花时间审阅、修改学生们的论文。张卫说：“如果学生做得不好，那一定是我的原因。”有时候为了论文中的一段文字，他会和学生反复讨论和斟酌，力求描述准确。五一劳动节当天，他早上7点多就到办公室，查找文献、修改学生的论文，午饭刚过就开始在网上审评论文。

　　返校以来，除了教学和科研工作，他还关爱学院师生，担起疫情防控的一方责任。作为微电子学院院长，他说，“坚持在第一线防疫，这是我的责任”。借用张卫的话，他就是“一个平凡的人”。但是，在这平淡平凡的背后，有着责任和担当。

　　1995年6月，张卫博士毕业后到复旦大学做博士后，博士后出站后，他留校工作，专注于集成电路领域的创新研究。2003年他搭建了国内第一台原子层沉积实验设备，随后他组织举办了第一届中国原子层沉积技术学术会议，邀请了国内外ALD领域专家参会，迅速扩大了复旦大学在集成电路前沿领域的国际影响力。

　　28年，张卫从一个初出茅庐的科研人员，成长为国内集成电路领域的领军人物，获得无数荣誉。这一切的背后，离不开他的“死磕”。在他看来，“做科研，是我的工作，也是我长久的坚守。”

　　微电子学院青年教师孙清清介绍，2004年还是一名大四的学生，当时他在张卫教授课题组做毕业设计。每次跟来自美国的工程师一起安装设备的时候，他发现旁边总有一个人，那就是张卫。

　　 “几天接触下来，我感觉张老师是一个非常严谨的人，能从他身上学到东西。”本科毕业后孙清清跟着张卫教授攻读研究生。他和张卫的缘分，自2004年延续至今。孙清清也已成长为一名学科带头人。

　　微电子学院2019年直博士徐航说：“老师对科研的态度非常认真严谨。有问题找他时，讨论中，他连一些小细节都不放过。他还会就你提出来的问题发散到面上，让你看到一些之前没考虑的问题，帮你理清科研思路。”

　　凭着这份韧劲，张卫几十年如一日，在科研路上孜孜不倦。近年来，他牵头承担了8项国家和上海市重大、重点科研项目，在Science、Nature Materials、IEEE Electron Device Letters、IEEE TED等本领域国内外学术期刊及会议上发表论文300多篇，申请发明专利180多项。

　　“作为一名老师，首要任务是教书育人，为行业培养高质量的人才。”张卫说。除了潜心探索科研工作，张卫坚守在教学一线。他给本科生讲授《半导体材料》课程。

　　在张卫看来，“大学教育对一个学生未来职业规划和选择非常重要。作为老师，我想不仅仅是做科研，更是作为人生导师。不仅传授知识，更要活用我过去几十年的人生阅历，引导他们成长。”多年来，他培养了一大批集成电路领域的优秀人才，其中5人获得国家高层次人才等称号，40多人担任我国集成电路头部企业高管和核心技术人员，成长为我国集成电路领域的领军人物。

　　这两年，张卫还为高中生先修课堂上课，讲授“改变世界的芯片技术”。他说，芯片是现代工业的粮食，是我们国家高科技强国建设的重要一环，希望通过先修课堂，让中学生对研究有了解，激发他们对科研世界的思考。

　　谈到未来复旦微电子学院的发展，张卫说，学院将面向学科前沿和国家重大战略的需求，集成电路是信息产业的基础。复旦大学集成电路学科成为教育部公布的新一轮“双一流”学科建设名单中全国高校唯一入选的“集成电路科学与工程”学科。复旦大学微电子学院已是国家示范性微电子学院的典型代表，将努力建设成为集成电路基础源头创新、前瞻性技术攻关和高层次人才培养的国际一流微电子学院，为建设特色鲜明、引领创新、享誉世界学术殿堂的“第一个复旦”作贡献。

　　离开科研、教学，张卫的生活很简单，平常他最喜欢的活动就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。长期以来，他保持良好作息习惯，每天晚上11点之前睡觉，早上6点钟起床，以充沛的精力投入到新的一天。

　　受疫情影响，这段时间微电子学院实验室暂时“停摆”。作为导师，为了缓解学生的科研焦虑，张卫做了一些调整，让科研不间断，包括布置阅读新的文献、总结前期实验经验、讨论进一步完善实验计划……做实做足前期功课，等待条件允许时快速投入、推进实验。

　　新民晚报记者 张炯强 通讯员 章佩林