数码新品汇2021年6月13日报道,近日,中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,研究的光刻技术获得新进展的研究成果曝光,该论文长达23页,包括约19756个文字,14张图片、3张表和27个方程,以及34个参考文献,详细介绍此次光刻技术获得新进展的整个实现过程、原理和方法。
信息来源:中国科学院网站、Optics Express网站
作者:王妙笛
新媒体编辑:冯成
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