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中科院:光刻技术得到重大发展

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  集微网消息,6月10日,中国科学院官网刊文称,上海光机所在计算光刻技术研究方面取得重要进展。

  

  中科院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,提出一种基于虚拟边(Virtual Edge)与双采样率像素化掩模图形(Mask pixelation with two-phase sampling)的快速光学邻近效应修正技术(Optical proximity correction, OPC)。仿真结果显示,这技术具有较高的修正效率。

  随着集成电路图形的特征尺寸不断减小,光刻系统的衍射受限属性导致明显的光学邻近效应,降低了光刻成像质量。

  在光刻机软硬件不变的情况下,采用数学模型和软件算法对照明模式、掩模图形与工艺参数等进行优化,可有效提高光刻分辨率、增大工艺窗口,此类技术即计算光刻技术(Computational Lithography),被认为是推动集成电路芯片按照摩尔定律继续发展的新动力。

  快速光学邻近效应修正技术(Optical proximity correction, OPC)通过调整掩模图形的透过率分布修正光学邻近效应,从而提高成像质量。基于模型的OPC技术是实现90nm及以下技术节点集成电路制造的关键计算光刻技术之一。(校对/诺离)

  延伸阅读

  造出2nm芯片后,IBM与日本联手开发尖端芯片!中国芯国产化加速

  众所周知,半导体的线路直径越小,性能就越好。美国IBM公司目前有最先进的工艺技术——已经造出2nm芯片,日本则在半导体生产设备方面占有优势。设想一下双方强强联合会对半导体行业带来什么样的影响。

  据外媒周二(6月8日)最新报道,日本经济产业省将协同美国IBM公司合作研发尖端半导体,双方在不同的领域上都占有优势,有利于尽快确立半导体制造技术。另外,英特尔也获得IBM授权,一同参与计划实现量产。

  

  此前,日本就曾多次向IBM抛出橄榄枝,如今IBM正式加入,为日本研发项目增添了强大的技术力量。据悉,早在2021年3月份,日本经济产业省就已经建立了研究尖端半导体制造技术的框架。为此,日本还邀请了很多在半导体领域上有造诣的企业参与。

  就在2021年5月末,日本还宣布支付一半的研究费用吸引台积电在日本建立研究项目,除了台积电还有近20家日本公司参与了这个项目,该项目主要是为了确立尖端半导体制造技术的研发。日本积极寻求合作,可见,该国对于国内半导体行业发展非常重视。

  

  如今,半导体制造技术主要集中在台积电、三星等企业手中,美国制造的芯片在全球占比已经降至12%,而日本在芯片制造上更是毫无优势可言。因此,如今这两国加强芯片制造技术的合作,对于美日双方来说都有着重要意义。

  

  除了美日两国之外,中国芯片国产化的进程也已经加速。随着越来越多的中国企业入局芯片研发行业,中国的芯片行业正迎来大爆发,相信不久后,中国国产芯片会有飞跃式的进展。

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