13.6亿，荷兰ASML将赴韩国建EUV再制造工厂！中国光刻机或迎转机

据快科技消息，当地时间5月13日，韩国产业通商资源部（The Ministry of Trade, Industry and Energy，MOTIE）正式宣布，全球光刻机制造“龙头老大”——阿斯麦（ASML）将赴韩国建造一个 EUV光刻设备的再制造（remanufacturing）厂及培训中心。

按照荷兰巨头阿斯麦的计划，接下来4年时间内（2025年以前），该集团将对韩国投入2400亿韩元（折合约13.6亿元人民币），在韩国当地的京畿道华城市打造一座EUV光刻设备再制造厂以及一家培训中心。据悉，这一项目将在2025年开始投产，有望为韩国创造数万个就业岗位。

那么，阿斯麦的这个再制造工厂，背后有何玄机呢？资料显示，再制造就是利用拆卸、检修和零部件更换等技术手段，将废旧产品进行修复和改造的过程，最终目的是要提升废旧产品的性能。说白了就是，阿斯麦将对韩国当地一些过时的、有故障的光刻机设备进行修复，使其恢复如新。

都知道，目前全球有能力生产EUV光刻机的仅有ASML一家，但是EUV光刻机的制造流程十分繁琐，ASML在这一产品的产能更是十分有限，每年的EUV光刻机产能仅为30台左右。而全球对于EUV光刻机的需求近年来又在不断激增，因此，除了在产能方面发力以外，延长当前正在运行的光刻机的使用寿命，也能为产能不足提供缓冲。

这对我国来说也是一个好消息。早在2019年，我国企业中芯国际就向阿斯麦订购了一台EUV光刻机，但美国一直不肯放行。所谓条条大路通罗马，美国一直不肯让阿斯麦向中企供应EUV光刻机，我国企业也想出了其他招数应对。

例如，2020年9月，我国半导体材料制造商晶瑞股份就发布公告，宣布该司以1102.5万美元的价格，从韩国SK海力士手上购入了一台二手ASML光刻机。据此来看，如今阿斯麦有意对韩国的一些EUV光刻机设备进行更新升级，或许将来中企也能从韩国企业手中承接一些二手的EUV光刻机设备。

值得一提的是，就在“官宣ASML将到韩国建厂”的同一天（5月13日），韩国也发布了关于建设半导体强国的战略规划。其中，韩国计划对半导体相关企业的研发税进行费用减免，预计研发税额的抵扣率将提升至最高50%。说白了就是，只要半导体企业在研发、设备投资方面有所投入，那么也将享受到韩国政府更多的资金补贴。

文 |廖力思 题 | 曾云梓 图 |卢文祥 审 |曾云梓