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ASML再次“表白”,可惜,光刻机救不了中国半导体

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  ASML再次“表白”

  光刻机被誉为工业皇冠上的明珠,全球能生产的只有四家企业,荷兰ASML、日本佳能、尼康以及我国的上海微电子。然而,能满足市场需求的却只有ASML公司,它占据了全球光刻机市场90%以上的份额,同时也是唯一能生产EUV光刻机的厂家。

  不过,ASML的光刻产线上并没有多少属于它自己的技术,甚至可以说是相当杂乱,EDA软件、数控机床、蔡司光源等核心技术设备分别来自全球各国,ASML5%的技术占比与美国的20%相去甚远,因此,完全处在老美的出口管制规则之内。


  EUV光刻机作为芯片制造的必需设备,是我国芯片自主道路上最大的拦路虎。在中科院等机构确定了光刻技术的科研任务目标后,ASML表现出的态度相当微妙,先是泼来冷水,表示:即便把图纸给中国,他们也造不出来。但紧接着又先后四次示好中国市场

  为什么会这样呢?一方面是或许EUV光刻机的自主研发确实有难度;另一方面,ASML不想看到我们实现光刻自主,或者说是不想被排除在我国市场之外,要知道,我们是全球最大的半导体消费市场,没有哪个企业会不心动。


  继出口给中芯12亿美元的光刻设备之后,在4月15日,ASML首席官Peter Wennink再次发声,除了“表白”我国市场之外,还表达了对芯片限制的看法

  Peter Wennink表示,“中国市场是无可替代的,我们非常乐意愿意提供设备技术,虽然现在无法出口EUV光刻机,但我们从未放弃努力,未来将加大投资布局,想办法绕开所谓的管制。


  谈到芯片问题,Peter Wennink回应:“对华限制出口,只会适得其反,中国现阶段的技术设备虽然不够先进,可发展速度却很快,实现技术自主是必然的,最终受到损失的只会是美企”。

  虽然ASML态度明确,可暂时无法给我们提供EUV光刻机也是不争的事实。

  不否认EUV光刻机的重要性,问题是,即便我们拥有了这样的设备,就真的能拯救整体较为落后的中国半导体吗?

  答案估计会让很多人感到失落。


  可惜,光刻机拯救不了中国半导体

  在芯片自主的问题上,或许是由于光刻设备比较特殊,又加上舆论的影响,放大了光刻机的重要性,以至于我们逐渐“失焦”,形成了“突破光刻机就等于实现芯片自主”的印象,从而忽略了其他和光刻一样重要但不太出名的设备。

  事实上,光刻机只不过是芯片产业制造工序中的一个部件而已,并不能对芯片制造起到决定性的作用。因为造芯所需要的设备何止上百种,以我国16%左右的自给率,除了光刻机之外,还有不下八十种设备需要突破

  “一代装备、一代芯片”是半导体行业的共识,所谓“一代”是指整条产线,并非是单个设备。也就说,即便我们有了最先进的EUV光刻机,但其他设备跟不上,一样无法独立制造高端芯片。

  半导体产业所涉及的设备太多样化了,大体可以分为七个生产区域板块,分别是扩散光刻刻蚀离子注入薄膜生长抛光金属化。


  这七个生产区域板块都对至少对应着三五种生产工艺,而每项生产工艺又分别有它核心的专用设备。

  因此我们在讨论芯片自主之前,必须要先搞清楚国产设备的现况。

  比如扩散设备,国际主流水准达到了14/7nm,而我们最先进的北方华创,目前只有65/45/28nm的水平,在该领域,我们只有3%左右的自给率,日、美企业仍处垄断地位。

  薄膜沉积设备,国际主流水准为14/7nm,但我们的国产替代化水平只有45/28nm的工艺精度,落后2-3个隔代。


  CVD/PVD设备,PVD方面美国应用材料一家独大,占全球80%以上的份额;CVD方面,东京电子占全球70%左右的份额。好消息是,我们的14nmPVD已经在产线验证阶段。

  光刻设备中的涂胶/显影设备,我们自给率只有4%,日、美企业则拥有87%左右的全球市场份额。

  七八十种就不一一列举了,总体来看,我国半导体产业的崛起之路任重而道远,EUV光刻机并不是“救命稻草”。

  危机中往往与孕育着机遇

  虽然我们的设备不够先进,可不难发现,我们的产业链上并没有什么缺失,国外有的我们全都有,只不过没有他们的产品那么好看、好用而已。落后不可怕,只要不偏科就不是什么大问题。

  诚然,西方的技术限制一度给多家中企带来了危机,然而,危机中往往孕育着机遇!


  我们的半导体设备之所以落后,除了起步晚的原因之外,更是由于没有融入到全球市场的产业链之中,影响力和口碑是关键,可惜此前我们一直都没机会拥有。

  为什么会没有提升影响力和口碑的机会呢?

  要知道半导体是最烧钱的重资产行业,设备投资占比80%,且决定着造出来的产品的性能和质量。因此,几乎所有的晶圆厂在采购设备之时都非常慎重,宁可花高价去采购成熟先进的国外设备,也不愿意在没有证明过自己的国产设备上尝试

  这导致海外先进的设备厂订单时常饱和,而国内欲求发展的设备厂商却经常无人问津。


  不过,美国的技术封锁给我们带来危机的同时,却也给国产设备厂商创造了机会。

  国内晶圆厂在无法采购海外设备的情况下,只能退而求其次地选择国产设备,有了买卖就会有口碑,有了口碑就会有持续的合作和更广阔的市场,技术更新也就能快速跟上节奏。在正常情况下,国产设备厂商付出大量成本都不一定能够争取到的产能订单,在禁令之下却能直接实现。

  中微半导体和北方华创就是最好的证明,在得到中芯的订单后,业内的认可度便直线提升,现在已经有越来越多的国内外晶圆厂主动“投怀送抱”。


  就目前的情况来看,国产半导体在西方限制之下正在加速形成良性的内需循环,崛起之时也许不远,可绝对没有弯道超车的捷径,唯一的办法只有脚踏实地、团结合作、付出更多的智慧和汗水。

  总结

  这样积极的科技发展环境是我们最期待的,不过却仍未到最佳状态。如果那些有钱、有人、有技术的顶流互联网科技企业们,能够把开发游戏、搞金融借贷、社区买菜等业务的劲头儿用在科技创新上,或许我们的半导体产业就会一日千里。

  可惜没有如果,人各有志。

  对此,你们怎么看,欢迎留言评论,为国产半导体的发展出谋划策。

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