万业企业发布年报：集成电路设备喜获订单 收购COMPART延伸半导体产业链

    本报记者 施露

    4月16日晚间，万业企业发布了2020年年度报告，公告显示公司实现营收9.31亿元，实现归属于上市公司股东的净利润3.15亿元；扣除非经常性损益后，实现归属于上市公司股东的净利润2.52亿元。

    2020年，万业企业持续深化向集成电路装备材料方向转型，公司控股子公司凯世通持续扩大研发投入，研发费用同比增长671.05%，其开发的低能大束流离子注入机进入国内主流12英寸晶圆制造工厂正在完成验证，并获得多个集成电路离子注入机订单；同时万业企业牵头收购全球领先的集成电路设备所需气体输送系统精密零组件及流量控制解决方案供应商CompartSystems，延伸布局集成电路设备产业链，进一步深化公司战略转型。

    产品喜获验收

    转型步入收获期

    万业企业抓住国产关键设备刚性需求增加的时机，加速离子注入机产品商用化推进，取得重大商业订单突破。2020年9月，上海凯世通的集成电路离子注入机产品已搬入12英寸主流集成电路晶圆制造的客户工厂，并进入产线验证阶段，首台设备预计在2021年二季度完成客户端的工厂验证工作。2020年12月，北京凯世通与芯成科技（绍兴）有限公司签署了3个12英寸集成电路设备订单，目前正在依据交付目标制订生产计划并积极推进。截至报告期末，北京凯世通共获得4个集成电路离子注入机设备订单，迎来了商业客户及多型号订单的重大突破。另一方面，上海凯世通超越7纳米离子注入平台已通过客户验证并验收，工艺制造水平逐步提高，业务放量在即。

    值得注意的是，万业企业旗下凯世通团队逐年增加产品研发力度，不断加速推进集成电路离子注入机的创新发展。2020年8月，上海凯世通的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目荣获北京市科技进步一等奖。2020年9月，上海凯世通承担的“集成电路设备射频电源系统研发与验证”项目进入上海市2020年度“科技创新行动计划”集成电路科技支撑专项名单。2020年10月，北京凯世通荣获iStellar-500SEMI认证证书。

    多头并举

    开拓协同发展新格局

    近年来，万业企业坚持产业升级，积极布局集成电路产业链。报告期内，万业企业战略投资安徽富乐德，富乐德是一家半导体设备精密洗净行业的领军者，在产品和市场上都构筑了独具的竞争优势，其控股股东为上海申和热磁电子有限公司（简称“申和热”），而申和热为日本上市公司FerroTec（简称“Ferro集团”）的全资子公司。Ferro集团总部位于日本，是一家国际知名半导体产品与解决方案供应商，该公司的产品线丰富，在半导体设备密封零部件、半导体设备陶瓷器件的细分领域皆为全球龙头。万业企业对富乐德的战略投资，为布局集成电路设备产业链向下延伸，也将与现有的半导体行业多项业务形成协同效应。

    2020年12月，万业企业领头境内外财团完成对全球领先的集成电路设备所需的气体输送系统领域精密零组件及流量控制解决方案供应商CompartSystems的收购，此次收购交易基准价格为3.98亿美元，为近年来该领域最大规模的中资企业跨境并购交易。由于化学气体产品的特殊性，半导体工艺中氧化/扩散、蚀刻和沉积工艺需要用到精确的气体输送系统，以确保工艺纯度和提高安全性。CompartSystems是集成电路设备里最为关键核心的气体输送系统领域供应商之一，其主要产品包括BTP（BuiltToPrint）组件、装配件、密封件、气棒总成、气体流量控制器（MFC）、焊接件等，产品用于集成电路制造工艺中氧化/扩散、蚀刻和沉积等设备所需的精确气体输送系统；同时是全球极少可完成该领域零组件精密加工全部环节，为半导体客户提供高阶气体流量控制器（MFC）组装的公司之一。

    CompartSystems也可为半导体、工业、航空航天、石油天然气领域内客户提供包括高精度金属加工部件，质量流量控制器、控制阀组件等产品，客户群体覆盖全球知名集成电路设备公司和领先的工业企业。

    据相关报告显示，目前中国本土集成电路设备由平均数千种零组件构成，平均国产化率为10%-30%，核心关键零组件几乎为零。万业企业收购CompartSystems将有助于提升集成电路设备所需的气体输送系统及高精度流量控制等领域核心组件与部件的国产化率，填补本土相关供应链空白领域。

（编辑 李波）