网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

我首台国产光刻机突破到28nm制程,将尽快交付

0
分享至

  综合各方面最新消息,上海微电子预计将于2022年交付首台28nm工艺国产沉浸式光刻机,国产光刻机将从此前的90nm制程一举突破到28nm制程。上微公司是国内唯一从事研发、生产以及销售高端光刻机的公司,也是全球第四家生产IC前道光刻机的公司,公司在终端后道封装光刻机和LED光刻机领域技术领先,国内市场占有率高达80%、全球市场占有率达40%,LED光刻机市场占有率第一。

  

  自华为被限制取得最先进的高端芯片以来,光刻机这个芯片制作设备大家都耳熟名详了。芯片的制造流程,包括前道工序的制作和后道工序的封装。具体包括芯片设计,晶片制作,封装制作,成本测试等几个环节。前道,后道工序都有相应的光刻机,我们常说的光刻机都是指前道制作光刻机。

  

  一个芯片制造流程上有几百个工序,几百套各类设备,关键设备就十多台套,其中又以前道光刻机最难。作为前道工序中芯片制作的核心设备,光刻机主要通过光源能量形式把所需要的电路图形刻在硅晶片上。而最终把芯片“雕刻”出来的蚀刻机,以及后道封装光刻机的技术已被我突破,现在基本处于是世界第一梯队的位置,象上微公司的LED光刻机,都是后道光刻机。

  

  在不同光源的作用下,芯片所能达到的精度是不同的。芯片精度上28nm以上的线路可以使用DUV光刻机,就是上微公司现在研制的。而在实际运用中,28nm制程的芯片,已经可以满足现在绝大部分工业上的需求;对于手机,使用14nm的芯片也足以满足我们的日常需求。再往下精度的芯片,对普通民众来说实际上性能已经过甚。但是消费类电子产品追求使用体验的极致,才会对精度有不断的要求。

  

  而且28nm制程的光刻机,通过多次曝光,在工艺上也能达到7nm的水平。28nm以下,特别是7nm以下精度的线路,才必须使用EUV光刻机才能达到要求。现在全球能提供EUV光刻机的只有荷兰的阿斯麦公司(ASML)。阿斯麦公司的EUV光刻机,也是全球技术合作的结果。但是受制于欧美为对中国技术封锁而达成的瓦森纳协议,欧美是随时可以按自己的需要,采取限制对中国出售的手段的。比如现在7nm的EUV光刻机还在对中芯国际的限制。

  

  对于中国的高端EUV光刻机,长春光机所在17年就解决了EUV的镜头问题。其他的如双工件台等都已经攻克。现在只剩下光源问题没有解决。目前EUV光源从产生方式分类,主要有三种,一是各种加速器产生的光源,二是激光等离子体(LPP)发出的光源,三是气体放电等离子体(DPP)产生的光源。ASML的EUV光刻机用的就是LPP即激光等离子体光源。

  

  国内现在几条技术路线同时进行,多路线试错模式,也是美苏冷战时期共同采用的做法。科学研究,本质上就是在一个大概的方向上不停的砸钱,试错,从中找出合理可行的方案。这也是中国在有足够资源的今天,打破国外技术壁垒的最快方法。

  图片来自网络

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐

一天暴跌300亿!被中国人捧起的超级网红,终于跌下神坛

犀论
2021-05-09 20:26:59

社评:美方围绕火箭残骸的胡搅蛮缠很下作

环球网资讯
2021-05-09 17:39:29

按摩女给男性“打飞机”,没有提供性服务,算不算卖淫行为?

法律智囊团
2021-05-09 17:29:04

已婚妈妈出轨13人,骗取40万后人间蒸发:这个渣女,手段真狠!

生活新青年
2021-05-09 18:51:31

花20亿泡妞,陈宝莲也曾为他癫狂,黄任中的“风流往事”

凉木ya
2021-05-09 10:06:50

全国首位“70后”地级市市长,周日被拿下了

今日新讯
2021-05-09 19:18:07

56岁“抛夫出走”阿姨现状曝光,接奢侈品广告,登纽约时报:人生简直开挂

澎湃新闻
2021-05-09 19:51:00

60岁大妈再婚要求:车房我有,想娶我必须满足4个要求,不然不嫁

生活对你下手了
2021-05-09 17:21:06

日本主妇患癌被宣告剩2年可活,放弃治疗只为体面死去,却从死神手中抢回13年寿命!

东京新青年
2021-05-09 20:24:00

流浪在横店的广东女大学生,求助10元无人搭理,“全身都是名牌”

小松社会趣闻
2021-05-09 02:33:30

郑秀文深夜独自现身街头,手拿酒瓶走路踉跄,头发蓬乱裤子松垮

会火
2021-05-09 06:40:02

英国开枪法国飙狠话,英法这是打的哪一出?

新民周刊
2021-05-09 10:19:51

乌克兰6名模特同2名男子船上拍光身照,其中两人还当场发生关系

译言
2021-05-08 23:21:50

郑爽张恒携手洗刷娱乐圈,揭开王宝强“真面目”,陈思诚将马蓉打入深渊

八姐论八卦
2021-05-08 06:30:02

女性的胸部,为什么会对男人产生性吸引力呢?告诉你真实的答案

左与右心理
2021-05-09 13:05:59

痛心!2女主播相约跳楼双双身亡

专属生活管家
2021-05-09 17:51:24

刚刚!全网围观俄罗斯76周年胜利日阅兵,今年大阅兵大家关注什么?

军武次位面
2021-05-09 19:58:07

女乘客行李箱放“小道具”,安检员拍照向人炫耀:箱子里一应俱全

消费生活报
2021-05-09 10:43:10

重庆一奔驰车主去加油,66升油箱加了80升油:我在这加了8年了

世界你好
2021-05-09 17:29:30

停止“确权”?国家一锤定音,明年起,农村的房屋全都按新规处理

有房之后
2021-05-09 14:51:33
2021-05-09 22:33:08
小宋说生活
小宋说生活
生活感悟
1978文章数 1151关注度
往期回顾 全部

科技要闻

三大运营商被逼从美国退市:影响不大但意图明显

头条要闻

中国驻印大使:中国向印捐赠制氧机 并提供100万美元

头条要闻

中国驻印大使:中国向印捐赠制氧机 并提供100万美元

体育要闻

梅西满眼欢笑→一脸失望 冠军越来越远

娱乐要闻

恋爱加持!王子文穿黑装美艳动人

财经要闻

汽车要闻

售价超千万 瑞士"小厂"推400km/h电动车

态度原创

亲子
健康
教育
艺术
数码

亲子要闻

央视曝光“毒童装”,价格不便宜还伤娃身体,不少家长都买过

如何筛查甲状腺癌?

教育要闻

明年北京中小学名师全部开设线上直播室

艺术要闻

灵岩寺部分罗汉像保护修复项目通过验收

数码要闻

任天堂家用游戏机也能当掌机玩:国外大神展现神奇操作