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关键设备再次突破
芯片制造是一项非常复杂的过程,需要用上多种技术,设备和材料。任何一个环节可能都需要几十道工序,任何一道工序出问题,都会导致芯片制造的失败。
尤其是到了高端精密的制程技术,更是需要顶级的设备,材料支持。
可是这些设备大部分都掌握在国外企业手中,比如高端光刻机一直被荷兰ASML把持着,用于芯片应用材料产品线的离子注入机也是美国Axcelis和intevac等企业垄断市场。在IC离子注入机设备市场上,美国占据了近70%的份额。
单单是应用材料覆盖的半导体制造设备就包括离子注入机、刻蚀、晶圆检测设备、化学气相沉积和离子层沉积等等。
这些设备在芯片制造领域都至关重要,然而一则好消息传来,中国在关键离子注入机设备上打破了美企垄断。
3月17日,中国电子科技集团有限公司正式宣布,旗下子集团攻克了“卡脖子”技术,在离子注入机全谱系产品上实现了国产化。包括中束流、大束流、高能、特种应用和第三代半导体等离子注入机,工艺可以覆盖至28nm。
离子注入机是半导体制造工序中非常重要的设备,主要应用于掺杂工艺,对金属材料表面改性和制膜等其中关键作用。而现如今中国电科实现该领域的突破,打破美企垄断,是值得骄傲的事情。
中国半导体设备产业链的实力
未来要想实现自主生产芯片,就需要把握半导体制造设备的技术应用,能够自给自足。而中国半导体设备产业链的实力还是有的。
在主要的半导体设备当中,生产制造光刻机设备的有上海微电子、中电科45所和沈阳芯源等等。刻蚀机领域也有中微半导体以及北方华创等巨头。而此次取得突破的离子注入机设备头部玩家包括中电科48所和中科信等等。
中电科48所隶属于中国电子科技集团,同样参与离子注入机设备研发。如今传来突破的好消息,在国产化率会进一步提升。
值得一提的是,在国产半导体制造设备领域,中国电子科技集团可谓是顶梁柱。划片机、分选机、减薄机、探针机、CVD等重要半导体设备,都有中国电科的身影。
总的来看,中国半导体设备产业链的实力还是有的,只不过需要做的就是不断提升整体水平。但既然在离子注入机关键设备上能覆盖到28nm,下一步一定还能继续突破。
芯片自给率再进一步
我国已经定下了70%芯片自给率的目标,据了解,目前的芯片自给率大概是在30%左右,要想在2025年完成70%芯片自给率的目标,就需要更多的头部企业参与其中,不断取得设备突破,技术进步。
而随着中国电科突破离子注入机,芯片70%自给率将再进一步。解决设备问题,才能投入生产,投入生产才可以不断扩大自给率。
中国半导体产业起步的时间比较晚,但是并没有太大关系,我们已经定下目标,并采取了多项惠利措施,政策,相信未来5年,10年,中国半导体设备、材料、技术等等都会更上一层楼。
总结
又突破了,中国在关键设备上打破了美国企业的垄断,实现离子注入机的国产化。并可覆盖到28nm,进步速度已经非常快。不过这肯定不会是终点,以后还会将国产集成电路产业发展到国际水平。
过去半年内,一项又一项技术取得突破,在国产产业链的万众一心下,再难的技术,设备也终将打破国外垄断。
对中国电科取得关键设备突破你有什么看法呢?
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