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ASML澄清!

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  中国半导体论坛 振兴国产半导体产业!

  近日,中芯国际与ASML达成12亿美元交易购买晶圆生产设备的消息引发关注。针对双方此次合作,有媒体报道称“除了 EUV 光刻机,中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机。”但是这一说法很快被ASML官方澄清,该协议与DUV光刻技术的现有协议相关。

  可能很多网友看到这里有点蒙圈,这绕来绕去的到底是玩的什么文字游戏。这里先进行一个小科普,EUV和DUV到底有啥区别呢?EUV也就是“极深紫外线”的意思,而DUV是“深紫外线”的意思,通过字面就知道EUV看上去就比DUV高级,实际上也是如此。

  

  ASML澄清与中芯国际交易细节

  一般来讲,DUV基本上只能做到25nm,Intel凭借双工作台的模式做到了10nm,但是却无法达到10nm以下。只有EUV能满足10nm以下的晶圆制造,并且还可以向5nm、3nm继续延伸。事实上EUV光刻机的出现,确实是帮助业界突破7nm制程的一个关键。

  当年不是传说已经翻车的武汉弘芯曾经拥有也是国内唯一一台可以用于生产7nm芯片的EUV光刻机嘛,但还没启用就拉去银行抵押贷款了。这一事件曾经一度引起业界轰动,并作为人们茶余饭后的谈资流传至今,由此可见7nm EUV光刻机是多么关键的存在。

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