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突破“光刻机”技术,还得看清华大学

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  突破“光刻机”技术,还得看清华大学。

  清华作为中国一流学府,吸纳着中国大量的优秀人才,同样也培养了大量的人才。当然,树大必招风,这些年对于清华的负面消息也不少。

  中国科研取得的成绩,的确是众多高校和科研院所努力的结果,但是清华的科研能力还是值得肯定的。就在最近,清华大学工物系教授唐传祥研究组与国际其他科研团队合作在《自然》上发表了《稳态微聚束原理的实验演示》。

  

  该研究论文基于SSMB原理,提出了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”,可以获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射,波长可覆盖从太赫兹到极紫外(EUV)波段。如果该SSMB光源成功进入市场,将有望应用于EUV光刻和角分辨光电子能谱学等领域,而且或将为我国基础器件再拿下一“城”。

  该论文一经刊发,便引起了国内外学术界及产业界的高度关注,此项科研成果有望为EUV光刻光源提供新的技术路线和研究方向。

  

  

众所周知,过去的几年来,中国的高科技企业步履维艰,屡遭“制裁”。

  而华为更是成为美国限制中国半导体行业发展的重点企业。其中光刻机相关技术缺乏,让华为在手机领域发展受到了限制,设计图拿在手里,却没有可代工的厂子,手机出货量因为缺“芯”大大缩水,这确实是一件尤为尴尬的事情。

  显然,光刻机相关技术,包括一些半导体技术,已经成为了中国科技发展的“拦路虎”。

  

  不过,对于国外的技术封锁,中国这次经历的并非是第一次,笔者相信这也绝不是最后一次。因此,依靠企业、高校,乃至各方社会力量,中国被封锁的技术一定会突破。不过,因为有些技术是基础性的,而且要达到自主,就需要另辟蹊径,这个过程必然存在大量的困难。

  值得一提的是,SSMB概念由斯坦福大学教授、清华大学杰出访问教授赵午与其博士生Daniel Ratner于2010年提出,而后推动了SSMB的研究与国际合作。2017年,唐传祥与赵午发起该项实验。这项研究原创性高,也是突破封锁的重要科研成果之一。

  

  对于制造“芯片”而言,光刻机很重要!而光刻机中最核心的“卡脖子”难题,却是光源。此次清华研究的成果,可谓是正当时。当然,SSMB EUV光源的持续科技攻关,也需要上下游产业链的配合,才能获得真正成功。

  当前,华为可以说是民族企业中的佼佼者,在许多方面都取得了非常好的成绩,而且在美国层层加码地打压下,克服困难,锐意进取。笔者相信,半导体行业会随着华为顶住某些西方国家的“制裁”,中国整个半导体产业将会完成一次脱胎换骨的“蝶变”。或许,当前中国与美国在技术领域和环境上还有差距,但是网民有理由相信,在中国各大企业的支持下,在中国高校的加速研发攻关下,中国的半导体会最终站在一流行列。

  

  

而当下,清华大学正积极支持和推动SSMB EUV光源在国家层面的立项工作。

  笔者相信,其他高校也会继续在科研方面继续努力,在落后领域追赶超越;在领先超越的领域,勇立潮头。据悉,清华SSMB研究组已向国家发改委提交“稳态微聚束极紫外光源研究装置”的项目建议书,而且还申报为“十四五”国家重大科技基础设施。

  

  期待,清华等高校在人才培养方面继续努力,为国家培养一流人才,在科研方面能够保持创新,为中国企业提供最基础的人才保障,原创理论和技术保障!

  可以说,清华还是那个爱国的清华,清华依然是那个为国家富强而奋斗不息的那个少年!

  

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