突破“光刻机”技术，还得看清华大学

　　突破“光刻机”技术，还得看清华大学。

　　清华作为中国一流学府，吸纳着中国大量的优秀人才，同样也培养了大量的人才。当然，树大必招风，这些年对于清华的负面消息也不少。

　　中国科研取得的成绩，的确是众多高校和科研院所努力的结果，但是清华的科研能力还是值得肯定的。就在最近，清华大学工物系教授唐传祥研究组与国际其他科研团队合作在《自然》上发表了《稳态微聚束原理的实验演示》。

　　该研究论文基于SSMB原理，提出了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”，可以获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射，波长可覆盖从太赫兹到极紫外（EUV）波段。如果该SSMB光源成功进入市场，将有望应用于EUV光刻和角分辨光电子能谱学等领域，而且或将为我国基础器件再拿下一“城”。

　　该论文一经刊发，便引起了国内外学术界及产业界的高度关注，此项科研成果有望为EUV光刻光源提供新的技术路线和研究方向。

众所周知，过去的几年来，中国的高科技企业步履维艰，屡遭“制裁”。

　　而华为更是成为美国限制中国半导体行业发展的重点企业。其中光刻机相关技术缺乏，让华为在手机领域发展受到了限制，设计图拿在手里，却没有可代工的厂子，手机出货量因为缺“芯”大大缩水，这确实是一件尤为尴尬的事情。

　　显然，光刻机相关技术，包括一些半导体技术，已经成为了中国科技发展的“拦路虎”。

　　不过，对于国外的技术封锁，中国这次经历的并非是第一次，笔者相信这也绝不是最后一次。因此，依靠企业、高校，乃至各方社会力量，中国被封锁的技术一定会突破。不过，因为有些技术是基础性的，而且要达到自主，就需要另辟蹊径，这个过程必然存在大量的困难。

　　值得一提的是，SSMB概念由斯坦福大学教授、清华大学杰出访问教授赵午与其博士生Daniel Ratner于2010年提出，而后推动了SSMB的研究与国际合作。2017年，唐传祥与赵午发起该项实验。这项研究原创性高，也是突破封锁的重要科研成果之一。

　　对于制造“芯片”而言，光刻机很重要！而光刻机中最核心的“卡脖子”难题，却是光源。此次清华研究的成果，可谓是正当时。当然，SSMB EUV光源的持续科技攻关，也需要上下游产业链的配合，才能获得真正成功。

　　当前，华为可以说是民族企业中的佼佼者，在许多方面都取得了非常好的成绩，而且在美国层层加码地打压下，克服困难，锐意进取。笔者相信，半导体行业会随着华为顶住某些西方国家的“制裁”，中国整个半导体产业将会完成一次脱胎换骨的“蝶变”。或许，当前中国与美国在技术领域和环境上还有差距，但是网民有理由相信，在中国各大企业的支持下，在中国高校的加速研发攻关下，中国的半导体会最终站在一流行列。

而当下，清华大学正积极支持和推动SSMB EUV光源在国家层面的立项工作。

　　笔者相信，其他高校也会继续在科研方面继续努力，在落后领域追赶超越；在领先超越的领域，勇立潮头。据悉，清华SSMB研究组已向国家发改委提交“稳态微聚束极紫外光源研究装置”的项目建议书，而且还申报为“十四五”国家重大科技基础设施。

　　期待，清华等高校在人才培养方面继续努力，为国家培养一流人才，在科研方面能够保持创新，为中国企业提供最基础的人才保障，原创理论和技术保障！

　　可以说，清华还是那个爱国的清华，清华依然是那个为国家富强而奋斗不息的那个少年！