网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

曾花8亿都没买成!中国突破“卡脖子”技术,EUV光刻机有戏了

0
分享至


  EUV光刻机,一直是中国芯片制造无法进一步升级的掣肘。去年9月份,时任中国科学院院长白春礼公开表态称,将集中精力攻克光刻机难题。不到半年时间,中国科学家就在这一“卡脖子”技术取得了关键性突破。

  据澎湃新闻2月25日最新报道,我国清华大学工程物理系教授唐传祥研究组、来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心(HZB)、德国联邦物理技术研究院(PTB)的合作团队在国际权威杂志《自然》上发表了一篇研究论文。


  该研究成果首次用实验验证了新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(SSMB)的原理,而清华物工系2015级博士生邓秀杰为第一作者。唐传祥教授指出,大功率的EUV光源是EUV光刻机的核心基础。SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。

  要知道,在芯片制造链的所有环节中,光刻机负责最复杂和关键的工艺步骤。而EUV光刻机是高端芯片制造必不可少的精密设备。目前,荷兰的ASML是全球唯一的EUV光刻机供应商,每台EUV光刻机售价超过1亿美元。


  日经亚洲评论此前报道,中国芯片制造行业龙头中芯国际曾于2018年向ASML购买了一台EUV光刻机,总价值高达1.2亿美元(约合人民币7.7亿元),然而由于受到干扰,一直到现制仍无法到货。


  不过,清华SSMB研究组已向国家发改委提交“稳态微聚束极紫外光源研究装置”的项目建议书,申报“十四五”国家重大科技基础设施。相信随着科学家们的深度研发,我国将有望加速自主研发、制造EUV光刻机,为国产芯片业注入更强的活力。

  文 | 吕佳敏 题 | 徐晓冰 图 | 饶建宁 卢文祥 审 | 廖力思

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐

唏嘘!卡西与妻子正式离婚 癌症+心梗时共患难 世界杯一吻成经典

足球部落
2021-04-15 12:04:17

这所大学,可能是全中国最恨地铁的高校

生物学霸
2021-04-14 19:27:14

汪小菲道歉升级!出轨家暴疑实锤?发文称想女儿不提妻子徐熙媛

快乐娱文
2021-04-13 10:27:43

网约车司机开了40公里去接预约单,到达等了半小时结果被取消!

网约车观察
2021-04-15 12:40:39

凯特王妃坚守立场,国葬拒绝跟哈里同框,不能原谅梅根专访内容

红袖说事
2021-04-14 23:41:55

普通党员多少岁能有补贴?普通党员和党员干部的区别具体在哪?

知源
2021-04-15 03:59:05

痴情小哥楼下唱歌求婚,女友楼上在出轨?年度绿帽贼亮!

专属生活管家
2021-04-15 06:35:31

姚策留下的40字遗书曝光,让许敏哭成了泪人...

明星八卦net
2021-04-14 15:49:22

陈奕迅,辞演!

yy电视快照
2021-04-15 08:33:24

巴西等7国已折戟!刘元春:中国或在2026年跨越“中等收入陷阱”

金十数据
2021-04-15 13:36:22

“蛇:大家别慌,是我报的警!”哈哈哈哈哈大哥可真是个狠人啊~

八圈传播者
2021-04-15 08:04:22

越南男子带中国人偷渡到越南,9名中国人将被驱逐出境

缅甸中文网
2021-04-15 01:29:53

这些裸女,没打马赛克,都是画出来的

绚丽人生
2021-04-14 01:03:17

英国女王连续两天营业真拼!丧夫之痛没能打倒她,气定神闲超优雅

时尚丽人风行
2021-04-15 15:17:35

负负得正?项思醒未婚夫明确表态:不会退婚,信命

神秘大草原
2021-04-15 14:27:59

中国篮协正式官宣!两名裁判被停赛 或无缘重返赛场

体坛瞎白话
2021-04-15 09:59:04

医学教授惊人发言!得罪天下医生,也要发你看看?

张赔娱乐厅
2021-04-15 03:31:51

5年4次起诉离婚不成,司法不能被“和稀泥”心态绑架

南方都市报
2021-04-15 07:02:01

姑娘,出门不要穿的这么单薄啊,路过的人看见都不好意思了!哈哈哈哈

八圈传播者
2021-04-14 19:03:17

37岁白百何秘密再婚?这位京圈太子妃变化有点大

mx八卦城
2021-04-15 06:22:38
2021-04-15 17:21:08
金十数据
金十数据
数据是比新闻更快的新闻
13019文章数 281996关注度
往期回顾 全部

科技要闻

美媒:英伟达不应该忘了普通游戏玩家

头条要闻

心酸!连失两个孩子 夫妻将4岁病逝二女儿器官捐献

头条要闻

心酸!连失两个孩子 夫妻将4岁病逝二女儿器官捐献

体育要闻

淘汰红军晋级 皇马残阵闯过魔鬼赛程

娱乐要闻

张彬彬空降网易大楼 喊话景甜二搭

财经要闻

汽车要闻

3.8秒破百/续航超700公里 ZEEKR 001今晚上市

态度原创

家居
本地
时尚
教育
公开课

家居要闻

港男月入过万只能带妻儿住7平蜗居 在洗衣机上做饭

本地新闻

30岁不结婚,丢脸吗?

张雨绮疑似新恋情被拍 男友是小8岁的帅哥提琴手

教育要闻

莫言获颁第13个荣誉博士学位

公开课

记者卧底精神病院,震惊发现正常人不在少数