关键技术门槛已被打破：国产光刻机距离世界先进到底还有多远？ 我国最先进的国产光刻机90nm制程工艺，世界最先进的光刻机7nm制程工艺，并且很快会实现5nm量产。光刻机领域的差距客观反映了我国和西方精密制造领域的差距，一台7nm制程的光刻机，关键零件来自于不同的发达国家，美国的光栅、德国的镜头、瑞典的轴承等等，最关键的是，这些顶级零件对我国是禁运的。
荷兰ASML光刻机
目前，光刻机领域的龙头老大是荷兰的ASML，占据了高达80%的市场份额。其中，最先进的EUV光刻机，全球只有ASML能够生产。光刻机是生产手机处理器不可缺少的设备，华为麒麟处理器、高通骁龙处理器、包括intel、amd的处理器都离不开ASML的光刻机。
7nm的极紫外线光刻机，分为13个系统，3万个分件，90%的关键设备来自外来，有德国的光学设备和超精密机械、美国的计量设备和光源设备，ASML要做的就是精明控制，作动时每一分都要精准，将误差分散到13个分系统中，如果德国的蔡司镜头不准、美国的光源不精，那么ASML瞬间失去了精神。
ASML还有一个奇特的规定，只有投资了ASML才能获取优先供货权，三星、台积电、intel、海力士都是ASML的大股东，大部分的高端光刻机被这些厂商“优先”采购。我国的中芯国际2018年采购的7nm光刻机，至今也没有收到货。
上海微电子
我国生产研发光刻机的企业是上海微电子，目前制造出来的光刻机主要集中在90nm及其以下芯片工艺制造商。
资料显示，上海微电子成立于2002年，当年到荷兰ASML参观学习，被ASML刺激了一把“即便把全套图纸给你们，你们也造不出来”，上海微电子能够稳定量产的时90nm制程工艺的光刻机，与ASML的7nm差距还是有点远。
上海微电子的光刻机，占据了90nm中低端光刻机市场，80%的市场份额，未来几年也只能是利用低端市场所赚取的利润，持续投入高端市场的研发，只能一步一步的突破，不可能直接跨越到7nm、甚至5nm。
总之，ASML在高端光刻机领域，具有“垄断”地位，同时由于技术封锁等原因，我国也无法从ASML那里买到最先进的7nm制程工艺的EUV光刻机。
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